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高精度ステージ グラナイトリニアステージ

用途

  • 加工用途
  • 微細用途
  • 産業用途
  • 計測用途

Granite stage

製品特長

グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度ステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。

製品仕様

項目/モデル LT-G-150 LT-G-200
移動距離 150 mm 200 mm
最大速さ 0.2 m/s
最大加速度 0.5 m/s2
最大荷重 5 kg
重量 6.8 kg 8 kg
分解能 1 〜 100 nm
絶対精度 1.5 um 2 um
繰返し精度 0.2 um
ピッチング 50 urad 60 urad
ローイング 30  urad 40 urad
ヨーイング 50 urad 60 urad

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