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高精度ステージ XYグラナイトステージ

用途

  • 加工用途
  • 微細用途
  • 産業用途
  • 計測用途

XY granite

製品特長

製品仕様

項目/モデル XY-G-200 XY-G-300
移動距離 200 mm 300 mm
最大速さ 0.2 m/s
最大加速度 4 m/s2 3 m/s2
最大荷重 5 kg
重量 52 kg 74 kg
分解能 1 〜 100 nm
絶対精度 2 um 3 um
繰返し精度 0.2 um
ピッチング 30 urad 50 urad
ローイング 15  urad 20 urad
ヨーイング 30 urad 50 urad

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