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光学部品 ドイツ・イエナオプティック社 マイクロオプティクス

用途

  • 加工用途
  • 医療用途
  • 理化学用途
  • 産業用途
  • 計測用途

マイクロオプティクス

製品特長

  • 波長:DUVからIR
  • 出力:高いエネルギーのレーザにも応用経験豊富

UV・DUVレーザに耐性の高い蛍石(CaF2)から、CO2レーザに使われるセレン化亜鉛(ZnSe)まで、幅広い基板材料の加工に対応し、お客様のご要望に応じたソリューションをご提供します。

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オプティクスの材料

溶融石英(Fused Silica), 蛍石(Calcium Fiouttde), ポリカーボネイト(Polycarbonate), パイレックス硝子(Pyrex), ゲルマニウム(Germanium), シリコン(Silicon), セレン化亜鉛(Zinc Selenide), サファイア(Sapphire), SF57(高屈折率ガラス), ガリウムヒ素(Gallium Arsenide), リン酸ガリウム(Gallium Phosphide):

製品仕様

MEMS_Devices (211.37 kB)
レーザ加工の効率向上に
種類 説明 イメージ Data Sheet
回折型ビームスプリッタ 広がり角,ビーム径,偏波面等を保ったまま,入射光を複数の回折配列に分割
フィルファクタ 最高100%まで
・分割角度:1°~18° ・波長:193nm~14um
beamsp
 
回折型ビームシェイパ トップハット,円形,長方形や任意の形状のプロファイルを生成
・効率 最大95%まで ・均一性 ±2.5%
beamsh
BeamShaper (174.78 kB)
回折型ガウシアンジェネレータ ノン・ガウシアンビームをファーフィールド・ガウシアンプロファイルに変換
・ 波長:193nm~2.5um
2
GaussianGenerator (180.78 kB)
回折型ラインジェネレータ ガウシアンビームをトップハット・プロファイルに整形
・均一性 ±2.5%
linegen
LineGenerator (156.14 kB)
レーザ光の均一化に
種類 説明 イメージ Data Sheet
回折型ディフューザ(拡散板) レーザビームを小さな角度で
分散させて均質化
・照射サイズは距離に比例
06dyi
Diffusers (341.08 kB)
屈折型ホモジナイザ 不均一な光線から均一な照明を
得る小型レンズアレイ
・開口:< 150mm
homoji
Homogenizers (205.50 kB)
深紫外まで対応する照明系に
種類 説明 イメージ Data Sheet
CaF2マイクロレンズアレイによるUVビームシェーピング CaF2マイクロレンズアレイに
よるUVビームシェイパ
・開口 5mm~120mm
07uvshaper
UV_CaF2 (160.92 kB)
デジタルNDフィルタ 金属性光吸収微細構造による
デジタルNDフィルタ,ご要望の
プロファイルにカスタマイズ可能
08ndfil
NDfilter (171.00 kB)
CaF2ガウシアンジェネレータ UVのノン・ガウシアンビームをファーフィールド・ガウシアン・プロファイルに変換
・波長:193nm~2.5um
6
CAF2_Gaussian (186.89 kB)
0次光の影響を抑えた
回折光学素子
回折型オプティクスによるマスク露光装置用,多重極(multipole)照明パターン
kougakusosi
Optical_Elements (177.84 kB)
幅広い赤外レーザ光に最適なマイクロ光学素子
種類 説明 イメージ Data Sheet
IR用マイクロオプティクス 近赤外から遠赤外までの波長範囲で,
独自のマイクロオプティクスのソリューションを提供
・ 波長:0.690um~14um
IRm.o
IR_Microoptics (192.67 kB)
回折型非球面レンズ(CGH) 非球面レンズ検査用
・150mm×150mmまで製作可能
kyumen
DAL (149.24 kB)
誘電体パルス圧縮用反射型グレーティング 誘電体多層膜の上にグレーティングを形成。
・グルーブ密度:1740line/mm(@1030nm)
・破壊限界:0.31J/㎠ 以上
・有効効率:97% 以上
・最大有効面積:130mm×130mm
yudo
DPCRG (205.62 kB)
グレースケール露光法で非球面のマイクロレンズを
種類 説明 イメージ Data Sheet
開口比向上用マイクロレンズアレイ フィルファクタ 最高100%まで
・ F# >0.65 ・レンズ開口15um~1000um
Maray
シャックハルトマンセンサ用マイクロレンズアレイ 入射波面の光位相測定用レンズ
アレイ
・焦点距離の均一性 ±3%
shalens
Micro_LArray_SH (271.84 kB)
ファイバコリメータ用マイクロレンズアレイ 出射光のコリメートおよびファイバ
へのカップリング
・レンズ位置精度 < 0.5um
fiberaray
Micro_LArray_FC (273.04 kB)
電子線描画とドライエッチで超微細加工
種類 説明 イメージ Data Sheet
溶融石英パルス圧縮用透過型グレーティング 誘電体格子を用いたパルスコンプレッサ
・高い効率と耐久性
・透過型のため高耐性
gulseg
PCG (431.00 kB)
回折型誘電体ポラライザ ナノ構造による、高コントラスト偏光素子
・効率80%以上・コントラスト80:1
pora
Polarizers (183.02 kB)
超微細加工技術をあらゆるアプリケーションに
種類 説明 イメージ Data Sheet
複合マイクロ光学素子 一体化設計により,複数のマイクロオプティクスの機能を統合  
hm.o.e
Microoptical_Elements (259.60 kB)
MEMSデバイス カスタム設計によるOEM供給  
device
MEMS_Devices (211.37 kB)

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