ユニバーサルロボット用アクセサリー
ハーモテック社ユニバーサルロボット用KUMADE Fork
Harmotec
概要
ハーモテック社のKUMADEとは高速の旋回流を発生させ旋回流中心部の 負圧によりワーク物を保持するという新しい概念から生まれた技術です。
用途
- 産業用途
製品特長
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・非接触 ・低ストレス
KUMADE独自の技術により、広範囲に負圧を発生させることが可能なため、薄くなったウェーハや、 ウェーハ自体が受けるストレスが真空吸着と比べると桁違いに(約1/360)低くなっております。 ・省エネ・薄型化
従来品の約1/7の消費流量にて機能を発揮します。
自体の厚みを薄くすることができ、ロボッ ・高矯正力
KUMADE独自の自己整合保持機能に |
製品仕様
タイプ | KUMADE FORK | ||
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モデル | KMWF-06 | KMWF-08 | KMWF-12 |
適応品種 | 6インチウェーI\/61nch | 8インチウエーハ/8inch | 12インチウェーハ/12inch |
使用流体 | クリーンドライエアー・N2 | ||
消費流量 | 50 SLM | 65 SLM | 80 SLM |
使用圧力範囲 | 0. 01 MPa~0.35MPa(01kヅ/cm2~3.5 kgf/cm2) | ||
ガイド駆動圧 範囲 | 0. 3 MPa~0.7MPa(3 kgf/cm2 ~ 7.l1kgf/cm2) | ||
ギャップ値 | 0.05-0 2 mm | ||
位置決め精度 | 士0.1mm | ||
ガイドストローク | 2 mm | 2 mm | 4 mm |
本体質量 | 0.22 kg | 0.29 kg | 1.18kg |
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