高精度ステージ

グラナイトリニアステージ

Busch Microsystems

概要

グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度ステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。

詳しくはBusch Microsystemsの特設サイトを御覧下さい。

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