高精度ステージ
XYグラナイトステージ
Busch Microsystems
概要
グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度XYステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。
詳しくはBusch Microsystemsの特設サイトを御覧下さい。
用途
- 加工用途
- 微細用途
- 産業用途
- 計測用途
製品仕様
項目/モデル | XY-G-200 | XY-G-300 |
---|---|---|
移動距離 | 200 mm | 300 mm |
最大速さ | 0.2 m/s | |
最大加速度 | 4 m/s2 | 3 m/s2 |
最大荷重 | 5 kg | |
重量 | 52 kg | 74 kg |
分解能 | 1 〜 100 nm | |
絶対精度 | 2 um | 3 um |
繰返し精度 | 0.2 um | |
ピッチング | 30 urad | 50 urad |
ローイング | 15 urad | 20 urad |
ヨーイング | 30 urad | 50 urad |
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